职位描述
1、负责面板及半导体检测设备中精密运动台的驱动控制系统开发与调试,包括直线电机、力矩电机、伺服驱动器等选型与应用;
2、设计多轴(X/Y/Z/R)运动控制方案,完成高精度位置伺服、速度规划、同步控制及振动抑制算法开发;
3、搭建控制系统硬件平台(运动控制卡、PLC、PMAC等),完成驱控一体系统集成与联调;
4、开发设备运控软件(基于C#/C++),实现运动流程逻辑、安全互锁、故障诊断及数据采集功能;
5、配合光学、机械团队完成整机精度标定与性能优化,解决高速运动下的定位精度、稳定性及吞吐率瓶颈;
6、编写技术文档(控制方案、电气图纸、调试手册),制定运控系统测试标准并指导现场交付与维护。任职要求
1、研究生及以上学历,自动化、电气工程、机电一体化、控制科学等相关专业,有精密设备运控开发实习经验优先;
2、了解半导体/面板检测设备运控架构,具备高速高精度运动台(如晶圆检测、AOI、贴合设备)开发案例;
3、掌握伺服驱动原理及调参(电流环/速度环/位置环),熟悉PID+前馈、陷波滤波、摩擦补偿等高级控制算法;
4、掌握主流运动控制器及总线通讯;
加分项:
熟悉气浮轴承/静压导轨特性及微振动控制;
有半导体前道检测(如暗场缺陷检测)、面板Cell/Module制程设备实习经验;
掌握C#/C++运动控制软件开发,熟悉Vision与Motion协同控制;
了解SEMI标准及半导体设备安全规范(SEMI S2)。